CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

文章图片

CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

文章图片

CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

文章图片

CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

文章图片

CPU|ASML之后,日本光刻胶巨头也表态了:中国难以掌握EUV技术

国内正在加速半导体产业的步伐 , 甚至在EUV光刻机领域也有布局 。 不过面向顶级的EUV极紫外光刻机技术 , 国外巨头却有不一样的表态 。 ASML称中国不太可能造出顶级光刻机 , 但也别那么绝对 。

而日本光刻胶巨头JSR也表态了 , 表示中国难以掌握EUV技术 。 这些国外厂商的表态和实际情况有怎样的区别呢?若真如对方所说 , 又该如何破局呢?

EUV光刻机的全球化中国半导体产业链已经迈入了新的阶段 , 正在积累更多的人才 , 产业链和生态系统等等一系列的环节储备 。
而带来的进步和突破也是显著可见的 , 如上海微电子实现3D/2.5D封装光刻机的出货 , 国望光学加速曝光系统生产基地的建设等等 , 另外中科院也在招募与EUV研究有关的人才推进研究 。
很多人都对EUV光刻机的生产制造难度 , 产业链条件等进行科普 。

包括中国院士吴汉明也直言 , 单独让一个国家 , 地区独立造EUV光刻机是不现实的 , 因为会用上十万个零部件 , 超过5000家供应商 。 同时各国的技术占比多少 , 最后吴汉明院士总结EUV光刻机是全球化的结晶 。
从产业链的角度来看 , EUV光刻机的确离不开全球化的支持 , 若没有各国顶级技术的供应 , ASML哪怕知道原理 , 明白各个生产制造流程 , 也未必能造出EUV光刻机 。
就好比一位大厨 , 可以做出美味的菜肴 , 可是没有锅碗瓢盆 , 调味品等必要工具 , 也是束手无策 。 让这位大厨同时具备制造这些工具的方法 , 显然没那么容易 。 同样的道理 , EUV光刻机集成全球顶级科技 。

ASML , JSR的接连表态而现如今国产半导体产业链的布局越来越深入 , 甚至隐隐朝着EUV极紫外光技术靠拢 , 这也引起了国外巨头不一样的表态 。
首先ASML首席执行官温彼得表示 , 中国不太可能造出顶尖光刻机 。 或许是对自己的话没有那么自信 , 温彼得还强调“但也别那么绝对 , 物理定律在中国同样有效 。 ”
ASML作为全球唯一掌握EUV光刻机制造技术的厂商 , 说出这句话便迅速引起了业内的话题讨论 。 但是在ASML之后 , 日本光刻胶巨头JSR也表态了 。

据JSR首席执行官埃里克约翰逊表示 , 虽然中国在推进芯片自给自足 , 但缺乏基础设施 , 难以掌握EUV光刻的复杂芯片制造技术 。
在日本垄断全球光刻胶市场的队列当中 , JSR是其中一员 。 该公司不仅掌握EUV光刻胶的技术实力 , 而且在ArF光刻胶市场份额中占据世界第一 。

ASML , SJR的表态和实际情况的区别和ASML一样 , SJR也做出了类似的表态 。 二者在各自的EUV光刻机 , 光刻胶领域内都有绝对的影响力 。 那么关于二者的表态 , 和实际情况有怎样的区别呢?或者说是否言之凿凿还是空中楼阁 。

要想弄清楚这一点 , 就需要明白国产半导体产业具备怎样的产业链技术积累 。
抛开主观因素 , 仅从现有的产业链发展情况来看 , 可以用“大而不强”来形容 。
“大”是因为有丰富的产业链支持 , 不管是光刻胶还是光刻机 , 并且细分到光学系统、物镜系统、双工件台、控制系统这些光刻机四大件 , 都有相应的国产厂商参与布局 。
背后有来自华卓精科、国望光学、上海微电子、科益虹源这些厂商入局 , 且都有一定的技术积累 。

至于“不强” , 大抵就是如国外厂商所说 , 基础设施 , 生态系统的整体发展节奏还有待持续提升 。 这里的生态系统 , 指的是提供高端芯片制造的必要材料 , 不仅仅是半导体设备这些基础设施 , 还有顶级的EUV光刻胶 , 电子特气以及工业软件等等 。
观察国产光刻胶产业 , 国内较为瞩目的南大光电已经实现了ArF光刻胶的客户验证 , 还拿到了小批量订单 , 但是对应的制程工艺为55nm 。