C++|中企:再见了,ASML?

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ASML一直都希望在中国加快市场布局 , 但是和ASML预想中的不一样 , 因为无法做到EUV光刻机的自由出货 , 所以在更大层面的高端芯片制造市场 , ASML无法从大陆客户手中获得订单 。

相反 , 中企已经开始深入国产供应链合作了 , 与各大国产半导体设备厂商加紧合作 , 国产半导体设备供应链也在持续发力 。 具体都有哪些进展表现呢?ASML还有哪些机会?

国产半导体设备供应链持续发力中国不仅是全球最大的芯片消费市场 , 而且也是最大的半导体设备消费国 。 据《全球半导体设备市场统计报告》显示 , 我国在2021年全球半导体制造设备销售市场中占据第一 , 销售额高达296 亿美元 , 相当于2010亿元人民币 , 同比增长58% 。

这样的销售额表现和增长效果 , 都突出了中国市场有巨大的半导体制造设备消费需求 。 在整个的芯片制造行业中 , 有关的半导体设备供应商都在迎来强劲的出货表现 。
结合国产半导体设备供应商的技术突破 , 交付验证进展等一系列的工作展开 , 在供应链当中取得了持续发力的效果 , 具体都有哪些进展表现呢?
需要清楚的是 , 半导体制造设备有非常多的种类 , 每一个芯片制造步骤流程都会有一个或多个的设备需求 。

分别来看 , 至纯科技可以提供清洗设备 , 可用于28nm节点 。 预计在2022年期间14nm以及7nm工艺的设备可以提供客户进行验证 , 而至纯科技的客户包括中芯国际 , 长鑫存储等巨头 。
另外在离子注入机方面凯世通也传出好消息 。 据悉 , 万业企业旗下的凯世通研发的高能离子注入机已经通过客户验证 , 验收 , 实现国内首台高能离子注入机进行晶圆厂验证 。

【C++|中企:再见了,ASML?】不仅如此 , 中国电科旗下的装备子集团也实现28nm全谱系的离子注入机突破 , 覆盖中束流 , 大束流及高能等等 。
何止这些 , 中微半导体的刻蚀机成功进入台积电5nm生产线 , 上海微电子实现国内首台3D/2.5D封装光刻机交付 , 盛美半导体实现18 腔 300mm Ultra C VI 单晶圆清洗设备量产 , 对沉积前清洗 , 聚合物清除等关键清洗作业有出色的表现 。
随着这些国产半导体设备供应商 , 企业的发展 , 在各式各样的半导体制造设备当中都取得了显著的进展 。 有的已经交付实际产品 , 有的还在研制的路上 。

就像国望光学已经开始为曝光系统生产项目公开招标了 , 一旦项目完成 , 那么国产光刻机设备将再添助力 。
ASML还有哪些机会?面对国内庞大的半导体设备销售市场 , 不难看见有许多国产厂商的身影 。 同时国外的半导体设备厂商ASML也在积极布局中国市场 , 表示会加快布局 , 保持和中国市场的开放合作 。
但ASML有怎样的出货状态大家都知道 , 大部分的设备都能出货 , 唯独最高端的EUV光刻机不能向大陆客户提供 。

ASML也阐明了这不是他们的选择 , 但实际情况就摆在眼前 , 面对中国半导体设备市场的发展增速 , 而国产厂商们的进展突破 , 如果ASML不积极开展布局 , 中企就要和ASML说再见了 。
一旦大陆客户与大陆厂商强强联手 , 建立订单协议 , 采购包括光刻机在内的国产设备 , ASML还有哪些机会呢?提供给ASML的机会选择并不是没有 , 大致来看主要包括两个 。

第一个:加速新一代NA EUV光刻机的落地 。
ASML已经打算采用高数值孔径系统用于下一代NA EUV光刻机 , 这是比普通EUV光刻机还要昂贵 , 先进及复杂的光刻机 , 预计价格将达到20亿元人民币 。
但如此先进的设备 , 研制成功并量产都是不容易的 。 可要是ASML真的掌握NA EUV光刻机的量产 , 其在全球半导体设备行业的影响力会更加深厚 。 当然 , 前提是加速新一代NA EUV光刻机的落地 。