|「芯版图」能否成为下一个风口?我国第四代半导体布局初现



|「芯版图」能否成为下一个风口?我国第四代半导体布局初现
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集微网消息 , 随着市场对半导体性能的要求不断提高 , 加之各种利好政策不断出台 , 第三代半导体等新型化合物材料凭借其性能优势开始崭露头角 , 第三代半导体迎来了爆发风口 。 在这第三代半导体万众瞩目的时刻 , 第四代半导体也正逐渐进入我们的视线 。
何为第四代半导体
第四代半导体是指以氧化镓(Ga2O3)和锑化物等为代表的半导体材料 , 相比其他半导体材料 , 第四代半导体材料拥有体积更小、能耗更低、功能更强等优势 , 可以在苛刻的环境条件下能够更好地运用在光电器件、电力电子器件中 。
其中 , 锑化物半导体在开发下一代的小体积、轻重量、低功耗、低成本器件 , 及其要求极为苛刻的应用方面就具有着不可替代的独特优势 。
一般来说 , 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料 , 是半导体工业的基础 。 迄今为止 , 半导体材料主要分为:基于Ⅳ族硅Si、锗Ge元素的第一代半导体;基于Ⅲ-Ⅴ族砷化镓、磷化铟的第二代半导体以及基于Ⅲ-Ⅴ族氮化镓、Ⅳ族碳化硅的第三代半导体等 。
对于第四代半导体材料而言 , 目前具有发展潜力成为第四代半导体技术的主要材料体系主要包括:窄带隙的锑化镓、铟化砷化合物半导体;超宽带隙的氧化物材料;其他各类低维材料如碳基纳米材料、二维原子晶体材料等 。
第四代半导体发展背景
随着量子信息、人工智能等高新技术的发展 , 半导体新体系及其微电子等多功能器件技术也在更新迭代 。 虽然前三代半导体技术持续发展 , 但也已经逐渐呈现出无法满足新需求的问题 , 特别是难以同时满足高性能、低成本的要求 。
在此背景下 , 人们将目光开始转向拥有小体积、低功耗等优势的第四代半导体 。
其中早在2011年 , 日本田村制作所就开发出使用氧化镓基板的GaN类LED元件 。 然而今年9月 , 据日本媒体报道 , 日本经济产业省(METI)正准备为致力于开发新一代低能耗半导体材料“氧化镓”的私营企业和大学提供财政支持 , METI将为明年留出大约2030万美元的资金 , 预计未来5年的投资额将超过8560万美元 。
尽管我国起步较晚 , 但对于氧化镓等第四代半导体材料的研究却也在推进中 。
我国第四代半导体领域研究仍在推进
自2005年开始 , 我国锑化物研究陆续传来好消息 。 中科院半导体研究所、上海技术物理研究所等研究机构率先突破了锑化镓基砷化铟/锑化镓超晶格焦平面技术 , 性能基本保持与国际同步的发展水平 。
目前 , 中科院半导体所研制的锑化镓衬底实现了2-3英寸直径衬底的量产 , 最大尺寸达到4英寸;同时 , 实现了2-3英寸直径、500-1000片/年的锑化物多功能低维材料外延晶圆的开发 , 研发了4英寸分子束外延技术 。